GaN基外延材料
产品用途：本产品可用于研制GaN基微波功率器件、GaN基电力电子器件、GaN基THz发射源和探测器、GaN基MEMS、GaN基传感器、GaN基太阳能电池、GaN基紫 外及深紫外探测器等器件研制。
产品指标：
2英寸异质结构材料 | |||
衬底类型 | Si | 蓝宝石 | SiC |
直径(mm) | 50.8±0.4 | 50.8±0.4 | 50.8±0.4 |
表面粗糙度(nm) | <0.5 | <0.5 | <0.5 |
室温2DEG迁移率(cm2/Vs) | >1600 | >1700 | >1700 |
室温2DEG面密度(cm-2) | >0.7×1013 | >0.7×1013 | >0.7×1013 |
方块电阻(Ω/□) | 300-450 | 300-450 | 300-450 |
方块电阻不均匀性(%) | <3 | <3 | <3 |
2英寸GaN基单层材料 | |||
直径 | 50.8±0.4 | 50.8±0.4 | 50.8±0.4 |
衬底 | Si、蓝宝石、SiC | 蓝宝石、SiC | 蓝宝石、SiC |
外延层厚度（μm） | 0-3μm | 0-3μm | 0-3μm |
产品结构一般为GaN材料，如需定制AlGaN等其他材料，结构和参数需面议。 | |||
3英寸异质结构材料 | ||
衬底类型 | 蓝宝石 | SiC |
直径(mm) | 76.2±0.4 | 76.2±0.4 |
表面粗糙度(nm) | <0.5 | <0.5 |
室温2DEG迁移率(cm2/Vs) | >1700 | >1700 |
室温2DEG面密度(cm-2) | >0.7×1013 | >0.7×1013 |
方块电阻(Ω/□) | 300-450 | 300-450 |
方块电阻不均匀性(%) | <4 | <4 |
4英寸异质结构材料 | ||
衬底类型 | 蓝宝石 | SiC |
直径(mm) | 100±0.4 | 100±0.4 |
表面粗糙度(nm) | <0.5 | <0.5 |
室温2DEG迁移率(cm2/Vs) | >1700 | >1700 |
室温2DEG面密度(cm-2) | >0.7×1013 | >0.7×1013 |
方块电阻(Ω/□) | 300-450 | 300-450 |
方块电阻不均匀性(%) | <4 | <4 |
产品价格：价格面议。
联系电话：010-82304170/4140。
